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      HL-YKXT-單面光刻機(jī)系統(tǒng)

      供應(yīng)數(shù)量:227

      發(fā)布日期:2024/1/10

      有效日期:2025/1/9

      原 產(chǎn) 地:國內(nèi)

      已獲點(diǎn)擊:227

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      單面光刻機(jī)系統(tǒng),本系統(tǒng)針對各大專院校、企業(yè)及科研單位,對光刻機(jī)使用特性研發(fā)的一種高精度光刻系統(tǒng)。



      一、單面光刻機(jī)系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

      1.曝光時間調(diào)解器:0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s)
      2.365-400nm光強(qiáng)傳感及電源供應(yīng)控制電路及反饋閉環(huán);
      3.聲控功率警報裝置可防止系統(tǒng)功率超過設(shè)定指標(biāo);
      4.有安全保護(hù)裝置的溫度及其氣流傳感器;
      5.全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角:<1.84度;
      6.波長濾片檢查及安裝裝置
      7.抗衍射反射功能高效反光鏡;
      8.二向色的防熱透鏡裝置;
      9.防汞燈泄漏裝置;
      10.配備蠅眼棱鏡裝置
      11.配備近紫外(或深紫外)光源
      --220nm輸出強(qiáng)度–大約8-10 mW/cm2

      --254nm輸出強(qiáng)度–大約12-14 mW/cm2
      --365nm輸出強(qiáng)度–大約18-20 mW/cm2

      --400nm輸出強(qiáng)度–大約30-35 mW/cm2

      12.主要配置:6“,8"光源系統(tǒng)可支持2“,3",4“,6",8“(圓/方片)及碎片光刻
      13.手動系統(tǒng),半自動系統(tǒng)
      14.支持電源350-2000
      15.支持深紫外近紫外波長(可選項(xiàng))
      16.支持背后對準(zhǔn)及MEMS工藝要求
      17.CCD或顯微鏡對準(zhǔn)系統(tǒng)
      18.主要性能指標(biāo):光強(qiáng)均勻性Beam Uniformity:--<±1% over 2" 區(qū)域--<±2% over 4"區(qū)域--<±3% over 6"區(qū)域
      19.接觸式樣曝光特征尺寸CD(近紫外NUV):0.5 um
      20.接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um
      21.支持接近式曝光,特征尺寸CD:--0.8um 硬接觸--1um 20um間距時--2um50um間距時正面對準(zhǔn)精度±0.5um背面對準(zhǔn)精度±1um--±2um(Depends on user)支持正膠、負(fù)膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um支持LED優(yōu)異電流控制技術(shù)PSS工藝光刻支持真空、接近式、接觸式曝光支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式

      二、主要用途

      ⒈ 本機(jī)針對各大專院校、企業(yè)及科研單位,對光刻機(jī)使用特性研發(fā)的一種高精度光刻機(jī)。

      ⒉ 由于本機(jī)找平機(jī)構(gòu)先進(jìn),找平力小、使本機(jī)不僅適合單晶硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片、寶石片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片、的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

      3.工作方式 本機(jī)為單面對準(zhǔn)、單面曝光。

      三、主要構(gòu)成主要由高精度對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場顯微鏡顯示系統(tǒng)、曝光頭、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式無油真空泵、防震工作臺和附件等組成。

      四、主要功能特點(diǎn)

      1.適用范圍廣適用于Φ100mm以下,厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光。

      2.結(jié)構(gòu)先進(jìn)具有半球式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)。

      3.操作簡便采用翻板方式取片、放片;按鈕、按鍵方式操作,可實(shí)現(xiàn)真空吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡便。

      4.可靠性高采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時器;采用dute的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件,使本機(jī)具有非常高的可靠性。

      5.特設(shè)“碎片"處理功能解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題。



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